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PLD系列准分子激光器

商品编号:OE2016.920003
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  • 商品名称:PLD系列准分子激光器
  • 商品毛重:
  • 单位:套
  • 上架时间:2016-11-17 15:12:13

产品描述:

技术参数

介质气体

ArF

KrF

XeCl

XeF

波长(nm)

193

248

308

351

最大单脉冲能量(mJ)

PLD20

450

550

450

300

PLD150

180

250

180

150

平均功率(W)

PLD20

7

10

7

5

PLD150

25

30

25

20

最大重复频率 (Hz)

PLD20

20

PLD150

150

脉冲宽度 (ns)(FWHM

PLD20

3

PLD150

3

能量稳定性(sigma %)

PLD20

25

PLD150

20

光斑尺寸(mm)(V×H,nominal)

PLD20

22×6

PLD150

14×5

发散角(mrad)(V×H,nominal)

PLD20

3×1

PLD150

3×1

规格


PLD150

PLD20

重量

200kg

230kg

冷却方式

Water cooling

电源要求

220V/50Hz/14A/1 phase

外形尺寸(L×W×H)

1300mm×400mm×900mm

1000mm×450mm×660mm



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