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ALIO纳米级精密运功控制系统Z轴平台

商品编号:OE20160817050
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  • 商品名称:ALIO纳米级精密运功控制系统Z轴平台
  • 商品毛重:
  • 单位:套
  • 上架时间:2016-08-29 17:27:41

产品描述:

ALIO的Z轴升降平台可以取代准确度欠佳的Z直平台和滚珠丝杆平台。ALIO的垂直运动平台具有高精度和高重复性。该产品配有线性伺服马达或音圈马达气浮配重或磁力弹簧。


标准参数

数值

Z轴行程

6mm - >150 mm

分辨率(模拟输出)

5 nm

分辨率(数字输出)

5 μm - 5 nm

双向重复定位精度

~+/- 30nm

绝对定位精度

~< 1.0um


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